Streszczenie:

Głównym celem referatu jest zaprezentowanie stanu zaawansowania modeli do symulacji numerycznych powstawania pęknięć w cienkich warstwach/powłokach uzyskiwanych metodami impulsowego osadzania laserowego (ang. Pulsed Laser Deposition – PLD) oraz fizycznego osadzania z fazy gazowej (ang. Physical Vapor Deposition – PVD). Przedstawione zostaną opracowane modele numeryczne do analizy inicjalizacji i propagacji pęknięć bazujące na koncepcji cyfrowej reprezentacji morfologii cienkich warstw/powłok. Opracowane rozwiązanie wykorzystuje również na wyniki nanoindentacji i obserwacji morfologii warstw/powłok z wykorzystaniem transmisyjnej i skaningowej mikroskopii elektronowej. Parametry inicjalizacji i propagacji pęknięć określane są natomiast z wykorzystaniem analizy odwrotnej. Kolejne kroki opracowania modelu pękania omówione zostaną na przykładzie cienkich warstw azotku tytanu TiN osadzanych na podłożach o różnej charakterystyce. Przedstawione podejście umożliwia przewidywanie lokalnych niejednorodności, które bezpośrednio wpływają na ogólne własności mechaniczne i użytkowe cienkich warstw i powłok.